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單晶硅片(125x125mm)
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產(chǎn)品簡介
至2010年底，硅片總產(chǎn)能將達(dá)到1200MW。預(yù)計到2011年底，硅片產(chǎn)能將增加600W達(dá)到1800MW.硅片主要規(guī)格為:單晶硅片125X125mm,單晶硅片156X156mm,多晶硅片156X156mm。
詳細(xì)信息
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品名
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單晶娃片
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導(dǎo)電類型
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P型
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硅片正方尺寸（mm）
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125x125±0.5
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硅片對角線(mm）
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150±0.5；165±0.5
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硅片厚度（中心值）（μm）
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180±20；200±20
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總厚度變化（μm）
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≤30
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電阻率范圍（Ωcm）
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0.8-3.0；3.0-6.0
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摻雜元素
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硼
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碳含量（原子/立方厘米）
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≤2.5×1017
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氧含量（原子/立方厘米）
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≤1x1018
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少數(shù)載流子壽命（μs)
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≥10
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表面質(zhì)量
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無裂紋、缺口、缺角、穿孔、亮點
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翹曲度（warp/μm）
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≤50
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鄰變垂直度
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90°±0.5 °
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崩邊（mm）
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弦長＜1.0；深度＜0.5；每片不多于2個
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線痕（μm）
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≤15
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